德耐尔真空泵 DS/DSV 系列是性能卓越的螺杆真空泵。DS 系列为等螺距螺杆真空泵，抽气量 180-1290m³/h，极限真空度可达 2Pa。DSV 系列是变螺距螺杆真空泵，抽气速率 250-1440m³/h，极限真空≤100Pa。
 

其优势显著，采用无油设计，符合洁净要求，且排气路径短，可减少反应物沉积。DSV 系列变螺距设计能耗节省 30%，还具有高压段抽速快、噪音低等特点。设备标配智能控制系统和物联网模块，可实时监控与远程操作。
 

该系列真空泵适用于半导体制造、精密电子、生物医药等领域。例如半导体芯片制造需超高真空环境，其能保障良品率。还可用于锂电行业的真空搅拌、干燥等环节，以及化工领域的溶剂回收等，能满足多种工业场景对真空度的要求。